Accelerometri ad alta sensibilità per il monitoraggio della produzione di semiconduttori

I processi di produzione dei semiconduttori sono estremamente complessi e in rapida evoluzione. Con la continua crescita della domanda da parte dei consumatori di dimensioni più piccole e di funzionalità più avanzate, diventa sempre più difficile evitare errori di produzione su scala nanometrica. Le ulteriori richieste di aumento della produttività richiedono macchinari di produzione e ispezione più veloci, rendendo i semiconduttori suscettibili di vibrazioni più elevate durante la produzione. Queste vibrazioni possono danneggiare i modelli depositati sui semiconduttori, causando guasti ai circuiti nei pezzi finiti. Per contrastare questo fenomeno, gli accelerometri vengono utilizzati nella produzione di semiconduttori per effettuare misurazioni di routine delle vibrazioni per il controllo in tempo reale e ad anello chiuso dei sistemi di monitoraggio della salute e di controllo dei processi. In questo white paper illustreremo il loro funzionamento e i loro parametri operativi di base, oltre a come questi parametri possono essere messi a punto per aumentare drasticamente la sensibilità e misurare spostamenti su scala nanometrica.

Indice dei contenuti:

• Un'introduzione alla produzione di semiconduttori
• Sorgenti di vibrazioni
• Accelerometri
• Comportamento generale
• Specifiche principali
• Opzioni di accelerometri ad alta sensibilità
• Misure di deflessione a livello nanometrico: Quanto possiamo scendere?
• Misure multiasse
• Conclusioni