Les éléments sensibles des accéléromètres PR sont constitués de flexions sur une plaquette centrale prise en sandwich entre une plaquette supérieure et une plaquette inférieure (figure 5). La courbure de ces flexions provoque un changement mesurable de la résistance qui est proportionnelle à l'accélération appliquée. Il est possible d'obtenir une sélection de plages de mesure à pleine échelle en modifiant la rigidité des flexions ou la masse sismique.
Les plaquettes supérieure et inférieure sont laminées sur une plaquette centrale à l'aide d'un liant en verre. Cela permet d'obtenir une enceinte hermétique pour les flexions ainsi que des butées mécaniques pour la protection contre les dépassements de plage. L'amortissement par gaz réduit l'amplification de la résonance lorsque les accéléromètres PR sont utilisés dans des applications soumises à des chocs importants. L'amortissement réduit la réponse à l'énergie à haute fréquence. On utilise de l'air plutôt qu'un liquide pour réduire les effets thermiques sur l'amortissement.
![](/contentstore/mktgcontent/webimages/resources/techsupport/wafer.jpg)
Figure 5. Construction d'un accéléromètre piézorésistif à courant continu MEMS
Les éléments de détection sont disposés dans une configuration de pont de Wheatstone entièrement active. Un pont entièrement actif (figure 6) utilise deux résistances qui augmentent avec l'accélération ou la force d'entrée, et deux qui diminuent. Ces résistances sont appelées respectivement jauges de tension et jauges de compression. La différence de tension de ces lignes de sortie est proportionnelle à la tension d'excitation appliquée. La tension d'excitation utilisée pendant l'application doit être la même que celle utilisée pendant le processus d'étalonnage.
Figure 6. Pont de Wheatstone
Les éléments de détection sont généralement montés sur des cartes de circuits imprimés placées dans des boîtiers en titane ou en aluminium. Des boîtiers pour montage en surface sont également disponibles. Les capteurs MEMS montés en surface sont généralement soudés ou fixés à l'époxy au niveau d'assemblage suivant. Les figures 7, 8 et 9 sont des exemples d'emballages.
![](/contentstore/mktgcontent/webimages/resources/techsupport/fig7.jpg)
Figure 7. Capteurs PR MEMS dans des boîtiers en titane
![](/contentstore/mktgcontent/webimages/resources/techsupport/fig8.jpg)
Figure 8. Capteur PR MEMS dans un boîtier en aluminium
![](/contentstore/mktgcontent/webimages/resources/techsupport/fig9.jpg)
Figure 9. Accéléromètre PR monté en surface dans un support de puce sans plomb