Acelerómetros de alta sensibilidad para supervisar la fabricación de semiconductores

Los procesos de fabricación de semiconductores son extremadamente complejos y evolucionan rápidamente. A medida que aumenta la demanda de tamaños más pequeños y funciones más avanzadas por parte de los consumidores, resulta más difícil evitar errores de fabricación a escala nanométrica. La demanda adicional de un mayor rendimiento requiere una maquinaria de fabricación e inspección más rápida, lo que hace que los semiconductores sean susceptibles a mayores vibraciones durante la producción. Estas vibraciones pueden corromper los patrones depositados en los semiconductores y provocar fallos en los circuitos de las piezas acabadas. Para combatir esta situación, la fabricación de semiconductores utiliza acelerómetros para realizar mediciones rutinarias de las vibraciones con el fin de controlar en tiempo real y en bucle cerrado los sistemas de supervisión de la salud y de control de procesos. En este libro blanco explicaremos cómo funcionan y sus parámetros básicos de funcionamiento, y cómo pueden ajustarse para aumentar drásticamente la sensibilidad y medir desplazamientos a escala nanométrica.

Tabla de contenidos:

• Introducción a la fabricación de semiconductores
• Fuentes de vibración
• Acelerómetros
• Comportamiento general
• Especificaciones clave
• Opciones de acelerómetros de alta sensibilidad
• Mediciones de desviación a nivel nanométrico: ¿Hasta dónde podemos llegar?
• Mediciones multieje
• Conclusiones