Hochempfindliche Beschleunigungssensoren für die Überwachung der Halbleiterfertigung

Halbleiterfertigungsprozesse sind äußerst komplex und entwickeln sich schnell weiter. Da die Nachfrage der Verbraucher nach kleineren Abmessungen und fortschrittlicheren Funktionen weiter steigt, wird es immer schwieriger, Fertigungsfehler im Nanometerbereich zu vermeiden. Zusätzliche Anforderungen an einen höheren Durchsatz erfordern schnellere Fertigungs- und Prüfmaschinen, wodurch Halbleiter während der Produktion anfälliger für stärkere Vibrationen werden. Diese Vibrationen können die auf den Halbleitern aufgebrachten Muster verfälschen und zu Schaltkreisfehlern in den fertigen Teilen führen. Um dem entgegenzuwirken, werden in der Halbleiterfertigung Beschleunigungssensoren zur routinemäßigen Messung von Schwingungen eingesetzt, um die Zustandsüberwachung und die Prozesssteuerung in Echtzeit zu steuern. In diesem Whitepaper werden wir ihre Funktionsweise und ihre grundlegenden Betriebsparameter erörtern und erläutern, wie diese Parameter angepasst werden können, um die Empfindlichkeit drastisch zu erhöhen und Verschiebungen im Nanometerbereich zu messen.

Inhaltsübersicht:

• Eine Einführung in die Halbleiterfertigung
• Quellen für Schwingungen
• Beschleunigungssensoren
• Allgemeines Verhalten
• Wichtige Spezifikationen
• Optionen für hochempfindliche Beschleunigungssensoren
• Messungen der Auslenkung im Nanometerbereich: Wie tief können wir gehen?
• Mehrachsen-Messungen
• Schlussfolgerungen